深圳市石金科技股份有限公司 歡迎您!
石金科技
石墨制品定制咨詢: 鐘先生 150-1381-7458 羅小姐 137-2866-5346
水土保持行政許可承諾書
水土保持方案登記表
行政許可申請表
關于佛山市石金工業碳素新材先進制造項目水土保持方案登記表公示

新聞中心

News

咨詢熱線

137-2866-5346
聯系石金科技

深圳市石金科技股份有限公司

聯系電話:137-2866-5346

電子郵箱:project@goldstonelee.net

公司地址:深圳市寶安區燕羅街道塘下涌社區安潤路2號101,201,301

立即咨詢 在線留言

石墨舟狀態對鍍膜均勻性的影響

發布時間:2020-08-09 點擊次數:4107

將新石墨舟及使用超過3 年的舊石墨舟飽和后進行PECVD鍍膜,片間均勻性差異如圖7 所示。由圖7 可知,新石墨舟表面平整度好,石墨舟片導電性一致,薄膜分子可以均勻地沉積在硅片表面,片間均勻性更優。圖8 為新石墨舟在使用周期內的片間均勻性變化趨勢圖。

新舊石墨舟鍍膜后的片間均勻性對比

新石墨舟使用周期內片間均勻性變化



   新石墨舟飽和后在沉積時仍有部分等離子體在石墨舟片上沉積,運行次數小于30 次時,隨著運行次數的增加,石墨舟片上沉積的等離子體減少,片間均勻性越佳。運行次數大于30 次后,隨著使用次數的增加,石墨舟片內壁與硅片接觸邊緣處薄膜變厚,電場反而變強,發生更多的等離子沉積,易出現不同程度的邊緣發白現象,導致片間均勻性逐次變差。

PECVD真空鍍膜載具用石墨舟

石金科技生產的PECVD石墨舟作為鍍膜最常用的工藝,被廣泛用于半導體、太陽能電池片的生產過程中。作為硅片的載體,石墨是最理想的材料,對表面鍍膜的均勻性、色差等產生至關重要的作用,要求其有高純度、耐腐蝕、極好的抗彎強度和良好的導電性能。



本文出自深圳市石金科技股份有限公司,公司是集銷售、應用開發,產品加工的石墨專業廠家,專門為模具行業、機械行業、真空熱處理爐、電子半導體及太陽能光伏產業等提供石墨材料、石墨電極和相關的石墨制品,歡迎致電13662687390


下一篇:石墨板用途
石金科技

聯系部門

鐘先生:150-1381-7458

羅小姐:137-2866-5346

電子郵箱:project@goldstonelee.net

公司地址:深圳市寶安區燕羅街道塘下涌社區安潤路2號101,201,301

石金科技
  • 石金科技 石金石墨
  • 石金科技 掃描二維碼
備案號: 粵ICP備14060263號-3    版權所有:深圳市石金科技股份有限公司    技術支持:京馬網 傲馬系統
久久这里只有精品6_玖玖国产精品视频_精品欧洲AV无码_久久97久久97精品免视看秋霞