深圳市石金科技股份有限公司 歡迎您!
石金科技
石墨制品定制咨詢: 136-3169-2183 0755-27565656
水土保持行政許可承諾書
水土保持方案登記表
行政許可申請表
關于佛山市石金工業碳素新材先進制造項目水土保持方案登記表公示

新聞中心

News

咨詢熱線

0755-27565656
聯系石金科技

深圳市石金科技股份有限公司

聯系電話:0755-27565656

電子郵箱:project@goldstonelee.net

公司地址:深圳市寶安區燕羅街道塘下涌社區安潤路2號101,201,301

立即咨詢 在線留言

石墨舟wafer污染可分哪幾種

發布時間:2019-11-12 點擊次數:3584

 石墨舟污染分析及分類:

  1.正常情況下,硅烷氨氣,在高溫,高頻光輝放電的作用下會生成一層較清潔干凈,不可擦掉的氮化硅生成物,附著在爐壁上。隨著鍍膜次數的增加,爐壁的SIN層越厚。

  2.在真空及氣流的作用下會產生流沙一樣的土黃色的SIN小顆粒。沉積到特氣孔法蘭內,或分布于爐管的底部,及爐壁上。

  3.由于氮氣不清潔(沒有安裝氮氣過濾器),在氮氣管壁有白色顆粒,在充氮氣回壓時隨氮氣到爐管,附著到wafer或許石墨舟上,形成小白點。

  4.在工藝制程結束后特氣管道吹掃不干凈(流量計異常),有濃度較低的硅烷。在出石墨舟過程中隨氮氣沖出,在特氣孔周圍遇氧燃燒產生白色或許淡黃色的氧化硅霧狀附著物。

  5.最嚴重的是硅烷羊角閥,或用流量計有漏,在沖N2時由于控制不好,會有濃度相對較高的SIH4漏出,在特氣孔處遇氧產生明火。燃燒產生的土灰色雪花狀漂浮物,會污染整個爐管,和石墨舟及舟內wafer上。

  根據以上分析爐管粉塵污染大致分為如下幾類

  1.石墨舟舟片上淡黃色微顆粒;

  2.石墨舟舟片上可去掉,或不可去掉小白點;

  3.石墨舟舟片上黃色或者白色霧狀附著物(稱為氣流異常);

  4.石墨舟舟片上雪花狀漂浮物;

PECVD石墨舟


本文出自深圳市石金科技股份有限公司,公司是集銷售、應用開發,產品加工的石墨專業廠家,專門為模具行業、機械行業、真空熱處理爐、電子半導體及太陽能光伏(石墨舟)產業等提供石墨材料、石墨電極和相關的石墨制品,歡迎致電13662687390


石金科技

聯系部門:羅小姐

聯系電話:136-3169-2183

傳真號碼:0755-81737007

QQ號碼:189773627

電子郵箱:project@goldstonelee.net

公司地址:深圳市寶安區燕羅街道塘下涌社區安潤路2號101,201,301

石金科技
  • 石金科技 石金石墨
  • 石金科技 掃描二維碼
備案號: 粵ICP備14060263號-3    版權所有:深圳市石金科技股份有限公司    技術支持:京馬網 傲馬系統
久久这里只有精品6_玖玖国产精品视频_精品欧洲AV无码_久久97久久97精品免视看秋霞